12月17日，中国科学院大学（简称“国科大”）“半导体工艺与制造技术”课程实训在微电子研究所集成电路先导工艺研发中心举行。国科大电子学院选修 “半导体工艺与制造技术”课程的130多名研究生在工艺线完成了集成电路工艺课程实训。　　实训中，平台一线工程师对生产线工作规程、质量控制、沾污控制、安全和超净间事故应急处置措施等进行了介绍，使大家对净化工艺线有了初步的感性认识。随后，同学们穿上超净服进入工艺线，实地系统学习离子注入、扩散、湿法清洗、外延生长、薄膜原子层淀积（ALD）等工艺模块。同学们认真聆听一线科研人员的讲解，不时提出问题，努力将课堂知识与科研实践联系起来，加深对半导体工艺与制造技术课程内容的学习。　　微电子所集成电路先导工艺研发中心拥有净化面积约3000平方米的8英寸研发线。平台采用工业标配设备，实行工业化管理。依托这样的平台开展实训，不仅可以加深学生对课堂所授理论知识的理解，也可提供真实的工业环境，使学生实地了解工艺工程师的工作模式、氛围和意义，不断提升理论联系实际的能力。 实训老师为同学们实地讲解工艺线