加快打造原始创新策源地,加快突破关键核心技术,努力抢占科技制高点,为把我国建设成为世界科技强国作出新的更大的贡献。

——习近平总书记在致中国科学院建院70周年贺信中作出的“两加快一努力”重要指示要求

面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家重大需求、面向人民生命健康,率先实现科学技术跨越发展,率先建成国家创新人才高地,率先建成国家高水平科技智库,率先建设国际一流科研机构。

——中国科学院办院方针

首页 > 传媒扫描

【科技日报】玻璃衬底上首次“异质外延”出准单晶氮化镓薄膜

2021-08-02 科技日报 马爱平
【字体:

语音播报

  记者从北京石墨烯研究院获悉,中国科学院院士、北京大学/北京石墨烯研究院院长刘忠范与中科院半导体所研究员刘志强、北京大学物理学院研究员高鹏等合作,提出了一种纳米柱辅助的范德华外延方法,国际上首次在玻璃衬底上成功异质外延出连续平整的准单晶氮化镓薄膜,并制备了蓝光发光二极管(LED)。相关成果7月30日发表于《科学》子刊《科学·进展》。

  由于缺乏同质衬底,氮化物材料一直通过金属有机化学气相沉积在蓝宝石、硅、碳化硅等单晶衬底上进行异质外延。但单晶衬底的尺寸、成本、晶格失配、热失配、导热导电性等限制了氮化物材料的发展。

  研究人员巧妙地利用石墨烯的晶格来引导氮化物的晶格排列,在非晶玻璃上实现了氮化物的外延,得到了高质量的准单晶薄膜。他们进一步生长了蓝光LED结构,其内量子效率高达48.7%。此外,他们充分利用界面处弱的范德华作用力,将生长的外延结构机械剥离并制备了柔性的LED样品。

  “这一成果是典型的‘从0到1’式的原创性突破,为石墨烯等二维材料的产业化应用提供了新思路,有望发展为氮化物变革性制备技术,解决先进半导体发展技术瓶颈,在新型显示、柔性电子学等领域具有重要应用前景。同时,该技术通过异质外延减弱了氮化物对单晶衬底的依赖,对于扩大半导体外延衬底选择范围、丰富半导体异质外延概念、实现面向后摩尔时代的片上物质组装和异构集成,具有重要意义。”刘忠范表示。

  (原载于《科技日报》 2021-08-02 01版)

打印 责任编辑:阎芳

扫一扫在手机打开当前页

© 1996 - 中国科学院 版权所有 京ICP备05002857号-1 京公网安备110402500047号 网站标识码bm48000002

地址:北京市西城区三里河路52号 邮编:100864

电话: 86 10 68597114(总机) 86 10 68597289(总值班室)

编辑部邮箱:casweb@cashq.ac.cn

  • © 1996 - 中国科学院 版权所有 京ICP备05002857号-1 京公网安备110402500047号 网站标识码bm48000002

    地址:北京市西城区三里河路52号 邮编:100864

    电话: 86 10 68597114(总机) 86 10 68597289(总值班室)

    编辑部邮箱:casweb@cashq.ac.cn

  • © 1996 - 中国科学院 版权所有
    京ICP备05002857号-1
    京公网安备110402500047号
    网站标识码bm48000002

    地址:北京市西城区三里河路52号 邮编:100864
    电话:86 10 68597114(总机)
       86 10 68597289(总值班室)
    编辑部邮箱:casweb@cashq.ac.cn