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上海有机所研究员沈其龙、上海微系统所研究员俞文杰、上海硅酸盐所研究员刘学建共同担任会议执行主席。
会上,上海分院院长胡金波致辞,表示期望本次论坛能紧紧围绕集成电路中关键材料研发的挑战与难点,集思广益,攻坚克难,为保障国家安全和国民经济发展贡献力量。刘学建和上海硅酸盐所副研究员姜大朋分别以“光刻机用先进陶瓷材料研究进展”和“光刻机物镜系统及掩膜台用关键光学材料研究”为题做了报告,介绍研究所在光刻机关键核心材料的研制和应用方面的进展。参会专家就如何解决集成电路关键材料的研发问题进行了学术分享和讨论。
上海分院、上海微系统所、上海硅酸盐所相关负责人以及来自科研院所、高校、化工及半导体企业等14家单位的60余位嘉宾和专家参加了本次论坛。
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