6月6日，应中国科学院合肥物质科学研究院固体物理研究所青联会和微纳技术与器件研究室的邀请，中科院上海微系统与信息技术研究所研究员李铁做客固体所，并作了题为《由MEMS到微纳制造与微纳传感器》的学术报告，报告会由研究员段国韬主持。

　　报告中，李铁以MEMS技术的高工艺选择性为出发点，说明了MEMS的广泛应用前景：利用纳米尺度效应和特异性敏感膜与微纳敏感结构相互作用的界面效应可实现对微纳传感器灵敏度和选择性的突破。近年来，李铁课题组通过高温氧化、磁控溅射、湿法腐蚀、干法刻蚀、圆片键合等工艺，采用自上而下的方法，制备了具有超高灵敏度、特异性检测的MEMS器件。根据不同材料的工艺选择性，他们开发了以氮化硅和氧化硅为掩膜、基于KOH腐蚀的硅纳米线加工方法，得到具有优异电学性能和一致性的硅纳米线。利用润湿效应，通过将自上而下和自下而上方法结合，他们提出并实现了一种大面积、高精度定位的小尺寸硅纳米线的生长方法，其直径在50-80nm，最长可达200-300um。另外，李铁课题组利用硅纳米线表面修饰的生物识别分子与被分析物的特异性结合所产生的电场变化，实现了对特定基团的检测，比如对DNA的单碱基错配检测。报告引起了大家的热烈讨论，会后，李铁与固体所师生进行了互动交流。

　　李铁，上海微系统所研究员，目前研究领域为微纳传感器机理、器件及应用基础研究。李铁在硅纳米线制造及器件、纳米效应表征、红外热电堆及红外气体模块应用等方面开展了系统研究工作，在Nano Letters、Small、Carbon、IEEE EDL、IEEE MEMS等刊物上发表论文160余篇，获发明专利授权36项。

李铁作报告