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美国康宁公司代表访问上海光机所

2014-09-10 上海光学精密机械研究所
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  9月5日上午,美国康宁公司销售与技术经理Julie L. Casey等一行六人应邀到中国科学院上海光学精密机械研究所进行学术交流,全所科研人员共50余人参加了本次报告会。

  Julie L. Casey女士首先简要介绍了美国康宁公司的概况,包括六大产品部门、创新模式、主要产品和应用范围等内容。随后,针对上海光机所对熔融石英等的需求情况,她具体地报告了康宁公司先进光学材料的研究进展,主要包括用于高功率激光系统和EUV光刻系统的高纯度熔融石英、中红外玻璃等的制造工艺和材料特性。Julie L. Casey指出,不同型号的熔融石英玻璃的特性和用途不同,定义熔融石英玻璃质量的主要标准是杂质含量和均匀性。最后,她分析了熔融石英玻璃的抗激光损伤阈值与体材料杂质和羟基浓度、表面抛光等的关系。

  报告结束后,与会人员与Julie L. Casey等深入讨论了熔融石英玻璃的抗损伤性能、透过波前测量技术、玻璃制造工艺、退火工艺及其在EUV光刻中应用等相关问题。

会议现场

打印 责任编辑:冀正一

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