主要职责
中国科学院贯彻落实党中央关于科技创新的方针政策和决策部署,在履行职责过程中坚持党中央对科技工作的集中统一领导。主要职责是:
一、开展使命导向的自然科学领域基础研究,承担国家重大基础研究、应用基础研究、前沿交叉共性技术研究和引领性颠覆性技术研究任务,打造原始创新策源地。 更多+
办院方针
面向世界科技前沿,面向经济主战场,面向国家重大需求,面向人民生命健康,率先实现科学技术跨越发展,率先建成国家创新人才高地,率先建成国家高水平科技智库,率先建设国际一流科研机构,加快打造原始创新策源地,加快突破关键核心技术,努力抢占科技制高点。
院况简介
中国科学院是国家科学技术界最高学术机构、国家科学技术思想库,自然科学基础研究与高技术综合研究的国家战略科技力量。
1949年,伴随着新中国的诞生,中国科学院成立。建院70余年来,中国科学院时刻牢记使命,与科学共进,与祖国同行,以国家富强、人民幸福为己任,人才辈出,硕果累累,为我国科技进步、经济社会发展和国家安全作出了不可替代的重要贡献。 更多+
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在先进光学制造中,光栅纳米级微结构参数的快速、无损、高精度测量仍面临挑战。传统物理反演方法计算开销较大,显微测量方法则存在效率低、成本高和难以在线检测等问题。将稳定光学测量装置与深度学习分析引擎结合,是提升光栅计量速度与鲁棒性的重要方向。
近日,中国科学院上海光学精密机械研究所等团队在基于深度学习的光学散射计量技术方面取得进展。团队研制了双光束光学散射计量系统,并提出自适应自校准物理约束卷积神经网络。
该系统利用参考光路抑制光源波动,模型通过自适应感受野融合模块和自校准残差注意力模块提取多尺度光谱特征,并引入物理约束损失提升预测可靠性。实验结果显示,该系统实现了亚纳米级测量精度,拟合决定系数R2高于0.99,单样本推理时间为9.07ms,可为光栅微结构参数的高速无损检测提供支撑。
相关研究成果发表在《光学快报》(Optics Express)上。

双光束光学散射计量系统与智能分析引擎示意图

双光束测量系统示意图
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