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ABF真空紫外倍频器件。新疆理化所供图
全固态真空紫外光源是一种具有重要战略意义的光学仪器设备,其核心材料为非线性光学晶体。
全球该领域的里程碑式晶体,是我国科学家于上世纪90年代发明的“中国牌”晶体——氟代硼铍酸钾晶体(KBBF)。它是过去30多年里,唯一能通过直接倍频技术实现200纳米以下真空紫外激光输出的实用晶体。
如今,中国科学院新疆理化技术研究所(以下简称新疆理化所)团队成功研制出一种新型“中国牌”晶体——氟化硼酸铵晶体(ABF)。该晶体不仅拥有完整的自主知识产权链条,材料性能更刷新多项纪录,使我国在该领域持续领跑全球。相关成果1月29日发表于《自然》。
刷新3项世界纪录
2009年2月,《自然》刊发一篇题为《中国晶体——藏匿的珍宝》的采访调研文章。文中,作者断言“其他国家在晶体生长方面的研究,还无法缩小与中国的差距”。
文章的主角正是“中国牌”晶体KBBF。1995年,陈创天院士等中国科学家研制出KBBF,“中国牌”晶体自此步入高光时刻。2007年,中国正式宣布停止对外提供KBBF,国外不惜重金请求购买,或邀请相关中国专家赴外工作,均被严词拒绝。
从1995年至今的30多年里,在非线性光学晶体领域,全球尚无任何新的晶体材料体系可以在性能上超越KBBF。
随着激光技术的飞速发展,该领域亟待研发新一代真空紫外非线性光学晶体。“从2007年我回国工作起,就开始着手寻找兼具更短输出波长、更大输出能量、更高转换效率的新材料体系。”新疆理化所研究员潘世烈说。
潘世烈曾师从陈创天、吴以成两位院士,在导师的指导下,系统掌握了晶体材料研究的理论体系与技术方法。2007年,他正式加入新疆理化所,开始组建一支覆盖理论计算、材料合成、晶体生长、器件加工、激光输出等全链条的创新团队,并寻找性能更优越的真空紫外非线性光学晶体材料体系。
他们创新性地将元素周期表中电负性最大的氟元素引入硼酸盐体系,让氟与硼以共价键相连,构筑起氟化硼酸盐基团,成功设计合成出ABF晶体。
最终,ABF晶体刷新了直接倍频真空紫外激光输出领域的3项世界纪录——波长最短、纳秒脉冲能量最大、转换效率最高。
“ABF晶体直接倍频输出激光的波长达到158.9纳米,纳秒级177.3纳米激光直接倍频输出能量达4.8毫焦,转换效率最高可达7.9%,均为世界最高水平。”潘世烈说。
可用于高端装备、精密微加工等领域
性能参数的提升,为一系列尖端应用领域带来了新机遇。“基于其短波长、光子能量大、转换效率高的特性,ABF晶体直接倍频输出的激光是国际上独一无二的,未来将在多个战略方向发挥关键作用。”潘世烈说。
在基础科学前沿,它将助力科学家探索物质微观奥秘。“激光的波长越短、能量越大,仪器的分辨率就越高。比如,在超导机理研究方面,别人看不清的,我们能看清,这有助于我们从源头上实现技术突破。”潘世烈说。
ABF晶体也让中国有了定义新一代科研装备标准和方向的可能。“作为关键部件,它还有望研制出国际上尚无先例的尖端科研仪器,如为自由电子激光提供独有的种子源,赋能下一代高端科研装备。”潘世烈说。
在高端制造领域,ABF晶体产生的真空紫外激光可应用于超高精密微加工等领域,显著提升加工精度与效率,服务于制造强国战略。
“短波长、高光子能量激光,可用于纳米级精度的切割、钻孔与表面处理,在航空航天、医疗器械等高端制造领域,实现更高效、更精密的加工。”潘世烈说。
此外,潘世烈介绍,ABF晶体还有望为空间激光通信等新兴领域与“无人区”领域提供新的技术路径。“未来,ABF晶体和器件的应用潜力巨大。我们的目标是创造需求、引领需求。”
十年磨一晶
目前,ABF晶体已突破厘米级晶体生长技术和器件加工技术瓶颈,构建起完备的自主知识产权体系。
“这项成果是团队站在老一辈科学家肩膀上接续奋斗的结晶。”潘世烈说。
在过去近20年里,科研团队将新型真空紫外非线性光学晶体从理论构想变为现实。潘世烈感慨:“研制过程是非常艰辛的。”
在材料理论层面,团队创新性提出真空紫外非线性光学晶体氟化设计及性能调控机制,攻克了“大带隙-大倍频效应-高双折射率-短紫外截止边”协同调控难题,创制出以ABF为代表的系列高性能晶体。
以此为基础,科研人员进一步聚焦晶体生长技术难题。为了长出足够大的ABF晶体,他们全年无休,年复一年地守着自研的晶体生长装备,夜以继日调节优化生长参数,用3年时间将晶体尺寸从毫米级提升至厘米级,最大可达4厘米。
光有晶体还不够。玉不琢不成器,晶体亦然。“晶体像人一样,一人一个脾气,每种晶体都有自己的秉性,得找到适配的加工工艺。”团队成员、新疆理化所研究员张方方说。他们反复试验切割角度、力度,摸索研磨、抛光工艺,历经无数次失败后,终于掌握了全套加工技术。
“当第一束158.9纳米激光从自主加工的器件中射出时,实验室爆发出欢呼声。”潘世烈笑着说。
如今,这支拥有100多位成员的团队仍在持续攻关。潘世烈介绍,下一步,新疆理化所将继续开展ABF晶体稳定生长技术、器件加工工艺及激光光源应用的研究,力争实现更短波长、更大能量、更高效率的全固态真空紫外光源创新,为精密制造、前沿科研装备领域提供有力支撑。
相关论文信息:https://doi.org/10.1038/s41586-025-10007-z
(原载于《中国科学报》 2026-02-04 第4版 综合)
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