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记者从中国科学院高能物理研究所(以下简称高能所)获悉,近日,在环形正负电子对撞机(CEPC)需求的牵引下,我国自主研制的全金属闸板阀通过鉴定验收。专家组认为,全金属闸板阀符合设计要求,满足超高真空应用需求。
全金属闸板阀是加速器真空系统必不可少的真空设备。它就像真空系统的“守护者”,用于把加速器束流管道分成多个区段,便于每个区段进行独立的抽真空、检漏、烘烤和维护。当某个区段真空度升高时,全金属闸板阀可以通过联锁保护系统自动关闭,避免其他真空区段压强上升。同时,全金属闸板阀在半导体行业也有较大的使用需求。
目前,国际上只有瑞士的一家公司可以生产供应全金属闸板阀,世界上所有的加速器几乎都要用该公司的产品,而大科学装置的建设以及检修过程中需要使用大量的全金属闸板阀。
中国科学院院士、高能所研究员王贻芳介绍,高能所和上海真空阀门制造有限公司联合攻关,耗时近6年终于研制出全金属闸板阀,从此打破国外垄断。
此次研制的全金属闸板阀包括两种类型——CCQ63A和CCQ160B。其中,CCQ63A没有设置射频屏蔽结构,而CCQ160B设置有射频屏蔽结构。测试结果显示,在真空漏率小于1E-10mbar.L/s的要求下,CCQ63A全金属闸板阀超高真空密封寿命达到5862次,CCQ160B全金属闸板阀超高真空密封寿命达到2695次。而“小于1E-10mbar.L/s”意味着全金属闸板阀能够保证真空系统实现超高真空密封。
(原载于《中国科学报》 2025-02-26 第3版 领域)
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