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沈天慧生平
发布时间:2012-03-23 来源:人民网 【字号:  
  

化学家,女,浙江杭州人。1949年毕业于上海大同大学化工系。上海交通大学教授。参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。1966-1986年从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅 MOS&127;工艺,研制出大规模集成电路数种,当时在国内处于领先地位。 1987年后,从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作,制出具有国际水平的直径为2mm的微马达。

1980年当选为中国科学院院士(学部委员)。

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