摘 要

中科院东北振兴科技行动计划重点项目“IC成膜PECVD设备产业化”由中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司(以下简称沈阳科仪公司)承担。沈阳科仪公司通过引进美国诺发公司PECVD设备技术和工艺，在自动控制、零部件国产化方面实现了自主创新，现已完成样机的装配及工艺调试，膜厚均匀性等技术指标达到国际先进水平。目前，公司已签定首台销售合同，实现了国产生产型PECVD设备研制、销售“零”的突破。

薄膜制备是集成电路(IC)芯片生产中四种主要工艺过程之一，薄膜制备设备占IC生产线中各种工艺设备总投资的20%以上。因其技术难度高、市场需求巨大，国家中长期发展规划将“高质量薄膜材料生长设备”与光刻机、刻蚀机列为“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项重点支持的三大整机。

PECVD设备被广泛应用于生长钝化与多层布线等半导体工艺中，具有沉积温度低(当硅中形成铝或金的布线以后，不能用高温)、薄膜成分与厚度易控、膜厚与沉积时间成正比、均匀性与重复性好、台阶覆盖优良、操作简便等众多优点,是IC制造工艺中制备钝化层与多层布线介质层(以Si3N4与SiO2薄膜为主)最理想的设备。全球PECVD设备市场一直被美国、日本所垄断，其中美国应用材料公司占据整个市场的50%，美国诺发公司占30%，日本东京电子占10%左右。国外12英寸PECVD设备制造技术及工艺已非常成熟，而国产设备一直以来只能用于大专院校和科研单位试验研究，6英寸PECVD设备在工程化应用方面尚处于空白。

沈阳科仪公司具有多年研制科研型、科研生产兼容性PECVD设备的基础，2006年又促成了以美国诺发公司(NOVELLUS，世界第二大IC装备PECVD设备制造企业)前副总裁姜谦博士为代表的海外华人专家加盟。通过抽调技术和管理骨干专门成立了PECVD事业部，并为其提供了4800平方米办公及研发环境，致力于发展IC装备PECVD设备。国家发改委将沈阳科仪公司“6英寸IC成膜PECVD设备研发及产业化”项目列为2006年国家信息产业关键产业技术产业化项目，辽宁省、沈阳市、浑南高新区也将其列为重大科技项目予以支持。2007年，该项目被列入中科院东北振兴科技行动计划。

为缩短研发周期，沈阳科仪公司引进了美国诺发公司生产型6英寸PECVD设备技术及工艺。在中科院及各级政府的大力支持下，项目进展顺利，由姜谦博士带领项目团队，在PECVD设备自动控制系统、零部件国产化方面实现了自主创新，于2007年6月底完成了样机的装配及工艺调试。样机零部件国产化率达70%以上，经测试，膜厚均匀性等技术指标达到国际先进水平，称得上是我国第一台真正意义上的国产生产型6英寸IC装备PECVD设备。

通过该项目实施，培养和扶植了多家国内IC装备零部件供应商，在不断地磨合中提高其产品品质，使其零部件加工配套能力达到国际先进水平，为保障产业化生产产品的重复性和可靠性打下了基础。同时，该项目为沈阳中科博微公司IC装备软件设计提供了研发平台，共同实现了我国IC装备自动控制系统国产化的重大突破。

此外，该项目在市场营销方面超前部署，产品研发过程中已通过走访逐步建立了客户资料档案。产品研发成功后，借助设备性能稳定可靠、价格优势明显、售后服务便捷等先天优势，成功签订了第一台销售合同，顺利跨越了国产IC装备整机首台销售异常艰难的障碍。目前，第二家目标客户已多次到沈阳科仪公司进行设备考核和工艺测试，测试结果满足客户要求，即将签订合同。

1.促进东北装备制造业振兴和地区经济发展

IC装备作为装备制造业的制高点，集成了当代最新科学技术成果，对工业技术进步和区域经济发展具有巨大的产业链拉动作用。沈阳地区拥有了IC装备核心产品，对于促进区域经济发展、提高知名度产生了重要作用；为沈阳科仪公司、沈阳地区乃至全国发展IC装备探索了有效途径，为后续产品开拓市场积累了经验。

2.为研制我国自主知识产权的12英寸PECVD设备打下扎实基础

本项目极大地缩短了我国同国外IC装备PECVD设备技术方面的差距，加速培养了一批IC装备专业化技术人才，锻炼了一支过硬队伍，培养了合格供应商，为研制我国自主知识产权的12英寸PECVD设备奠定了基础。

3.培养国内合格供应商 ，带动相关产业发展

本项目不仅可以促进我国IC装备制造产业发展，同时对信息技术、材料制造技术及其相关产业的发展也将起到巨大的推动作用。PECVD设备技术门槛高，对相关配套产品要求严格，项目通过培养国内合格供应商，建立了零部件、原材料供应商体系，提升了相关产业和技术的发展水平，带动了相关产业协同发展。

4.完善IC装备产业布局和产业链 ，促进IC产业发展

“十五”期间，国家IC装备产业区域战略布局上形成了北京、上海两大基地，其重点分别是刻蚀机、离子注入机和光刻机。本项目为国产IC装备整机家族又增添了新成员，与北京、上海的整机设备形成呼应，完善和补充了我国IC装备产业布局，将提升行业的整体竞争力，促进我国IC产业快速协调发展。