胡松的团队在经历过辉煌和低潮后，再次成为国内微电子光刻装备领域焦点。

采访胡松约在他办公室，见面后没有过多寒暄，一落座他便翻开茶几上的小册子介绍起自己的工作。不断有电话打进来，或落实项目申报或敲定去上海出差的事宜，每次电话振动，胡松总是一脸抱歉：“手头事情太多了。”胡松说，春节期间都在忙，假期没结束便提前回了实验室。

胡松的身份是中国科学院光电技术研究所（以下简称光电所）研究员、微电子装备和生物芯片仪器研究室主任。自1988年进所，他已在微电子光刻装备领域工作了25年。“一生只需要认真干好一件事。”这是胡松的座右铭。

执著坚守

“他的事业心和责任感都非常强，一直执著坚守于微电子光刻装备领域，遇到再多困难，从不轻言放弃。”研究室老书记何坤尧聊起胡松，喜爱之情溢于言表，他是看着胡松从一名青年技术人员一步一步成长为国家级领域专家的。

何坤尧向《中国科学报》记者谈起了由胡松负责的生物芯片仪器研制项目。“只要他看准了，就一定要从好做到最好。”何坤尧说胡松有一股子倔强劲儿。在研发光刻机系列产品时，为拓展新产品，胡松也是经常加班加点。熟悉他的人都笑言：“胡松周末不工作是小概率事件。”

得益于他的执著坚守，胡松的团队在经历过辉煌和低潮后，再次成为国内微电子光刻装备领域焦点。

婉拒“挖墙脚”

上世纪末，科技体制调整与改革使科研单位投身于市场竞争的洪流中，而国家在微细光刻领域的部署迟迟没有启动，给从事基础研究的微电子专用设备总体研究室（四室）带来了巨大压力，给科研人员发奖金、工资都成了问题。恰逢此时，胡松却遇到两次前往发达地区发展并获得高薪的机遇。

2002年，他在上海参加国家微电子装备的攻关研制任务期间，某单位高薪邀请他加入。他婉拒了邀请，回到光电所挑起了四室主任的担子。次年，他再次拒绝某公司高出他当时年薪近十倍的“挖墙脚”，带领团队在基础研究的“清贫”中深入探索，不断前进。

谈及当年的决定，胡松并不后悔。“留在光电所才有事业的归属感，能按照自己的思路作科研。”他认为，自己取得的每一点成绩与光电所的培养息息相关，自己有责任将这支年轻的微细光刻研究队伍发展起来。

如何解决生存问题？作为团队负责人，他必须排除各种干扰作出抉择，在经过反复思考、衡量多日后，他决定拓展新项目“生物芯片仪器研制”。这是一个前瞻性和实用性都非常强的科研课题。

尽管在国内尚无先例，但胡松对自己和团队有信心。

由于拥有雄厚的技术基础和破釜沉舟的决心，该团队经过3个多月的努力，取得重大突破，第一台样机研制成功后，他的团队相继成功研发三类11种制备仪器，申报了19项国家专利，从根本上改变我国此类仪器全部依赖进口的局面，也为研究室的发展提供了重要的物质条件。

厚积薄发

事业上的初见成效，不仅稳定了队伍，留住了骨干，更树立了研究团队坚守领域研究的信心。在研制新产品的同时，胡松团队利用在光刻机领域的技术优势，开展小型光刻机的研发工作。

研究室投入研发的URE-2000型系列紫外深层光刻机、双面紫外深层光刻机，很快受到社会的青睐。十余年来，研究室已完成研发10种规格型号的光刻机，从接近接触式到无掩模数字投影式曝光，产品不断在关键技术上取得创新与突破。

光电所人事处处长唐小萍与胡松共事20多年，在她眼里，这位老同事为人特别低调，但工作起来认真较劲，没有半点马虎。她认为：“光刻机和生物芯片仪器的研制，为国家重大专项申请和研究室的发展奠定了坚实的技术基础。”

机遇总是留给有准备的人。“十一五”期间，胡松作为国家重大专项光刻机首席技术专家，针对国家信息产业发展的战略需求，向国家有关部门建言献策、撰写报告，建议加速发展我国大规模集成电路制造装备事业。2008年，胡松团队承担了两项国家重大专项关键系统的研制工作，这些工作将挑战现有的设计和制造极限。

面对取得的成绩，胡松很谦逊：“也许是我一直都有明确的目标和方向。”他不断向团队成员灌输一个观念：明确目标后要坚持不懈认真把一件事干好。

（原载于《中国科学报》 2013-04-02 第6版 创新）