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风雨中指引方向,携手共筑辉煌
发布时间:2016-10-27 来源: 【字号:  

  与“西部之光”人才培养计划结缘,可以追溯到2003年。当时我的研究工作正走在十字路口,面临重大转折。在那之前,我们团队所有工作都在国家重大项目的支持下开展,需要考虑的所有问题仅仅是如何把项目做好,满足国家重大需求,完全不需要考虑研究的成本、实用性等现实问题。然而,在2000年左右,受国家政策调整的影响,团队不再受到国家的支持,研究工作面临“断粮”的困境。在这种情况下,只有利用前期攻关项目技术积累,结合民生需求,进行技术成果转化,向市场找饭碗。然而,要进行技术转换,研究经费从何而来?成为摆在我面前的现实问题。在这个关键时刻,“西部之光”人才培养计划成为了我们当时的“及时雨”。“西部之光”与以往国家项目不同,她不仅仅是一个人才计划,在考虑技术创新的同时,侧重对地区经济发展的重要影响。“西部之光”的宗旨与我们当时的发展目标完全契合,通过积极争取,很顺利的获得了项目的资助。

  在“西部之光”的支持下,我带领团队瞄准市场需求,克服研发过程中的诸多关键技术问题,最终完成了符合市场需求的装备研发。在此基础上,进行了市场化推广,在市场上获得了“第一桶金”。“西部之光”的顺利进行,坚定了我们技术攻关与市场化推广并行的发展思路,研究工作既要有重大技术突破,也要向面向应用,做到“顶天立地”,齐头并进。

  随后的十余年里,在这一发展思路的指导下,我带领团队不断发展,在关键技术攻关与市场化推广两方面取得显著成绩。在关键技术攻关上,创造我国多个首创,成功研发我国首台双面光刻机、首台无掩模光刻机等。通过技术积累,投影物镜、精密工件台、对准、检焦、分辨力增强等关键技术研究方面取得多项突破,多项关键技术指标达到国际先进水平。并获再次获得国家重大项目的资助,承担多个国家重大专项,开展EUV、193nm投影、193直写以及超分辨力光刻机等高端光刻系统研制。在市场化推广方面,持续进行成果转换,完成URE-2000系列光刻机研发,包括紫外单面光刻机、双面光刻机、数字无掩模投影光刻机、小型投影光刻机、纳米压印光刻机、三维层析光刻机等多种型号,并实现销售500余台,在国内光刻机市场占据最大份额,具有良好的口碑及声誉,并创造了国内光刻机出口的历史。

  经过长期的发展,已形成了一支富有创新精神、基础扎实、攻关能力强、敢于拼搏的研究队伍。研究工作涵盖基础理论研究、工程技术研究以及市场推广等多个方面。在满足国家重大需求,开展关键技术攻关的同时,开展技术成果转化,满足民生需要,助力地方经济发展。感谢“西部之光”人才培养计划在过去给予我们的支持,在未来,我们将继续携手“西部之光”,共筑辉煌明天。

  胡松:男,1965年3月生,博士,研究员,四川省突出贡献优秀专家,四川省第七届劳动模范,四川省学术技术带头人后备人选,获国务院政府津贴,博士导师,中国电子工业专用设备行业协会理事,全国半导体设备和材料标准化技术委员会微光刻分会副主任,中国仪器仪表学会精密机械分会理事。2004年获得“西部之光”重点项目资助。

(责任编辑:麻晓东)
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