力学所赵亚溥研究员领导的“纳/微系统力学与物理力学”课题组在表面力对纳电子机械系统(NEMS)影响的研究上取得了创新性进展。他们的研究表明,由于范德华和Casimir效应,旋转式致动器失稳时的临界倾角不再保持恒定,而成为一个和结构尺度相关的量。同时,这两种效应也使得制动器失稳临界电压降低,他们得到了对应于范德华和Casimir扭矩的临界电压的修正系数。
事实上,当致动器的上下极板的间距被设计小到一定程度时,即便没有外加电压,在任意小的角度扰动下,致动器也会由于范德华和Casimir扭矩的作用而失稳。该课题组导出了致动器失稳时上下极板间相应于范德华和Casimir扭矩的临界间距。
上述工作将对纳电子机械器件的设计和进一步的理论研究提供一些有益参考。有关研究成果发表在国际微系统领域最有影响的学术期刊Journal of Microelectromechanical Systems,2004, 13(6):1027-1035。 |