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国家技术发明奖
高精度微纳结构掩模制造核心技术
发布时间:2014-01-13
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项目名称: 高精度微纳结构掩模制造核心技术
第一完成单位: 中国科学院微电子研究所
获奖级别:技术发明奖二等奖
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