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高精度微纳结构掩模制造核心技术
发布时间:2014-01-13 来源: 【字号:  

  项目名称: 高精度微纳结构掩模制造核心技术

  第一完成单位: 中国科学院微电子研究所

  获奖级别:技术发明奖二等奖

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