近日，2009年辽宁省科技进步奖评选结果揭晓。中科院沈阳自动化所控股企业——新松机器人自动化股份有限公司自主研发的洁净机器人项目荣获辽宁省科技进步一等奖，这是新松公司成立十年来首次获此殊荣。

洁净机器人是一种在洁净环境中使用的工业机器人，主要包括大气机械手、洁净镀膜机械手和洁净机械手码垛包装线等，主要应用领域为IC装备、平板显示（FPD）、电子、生物制药和食品等行业。

该成果使我国在装备制造方面取得重要突破，打破了半导体制造装备的关键部件依赖于进口的局面，提升了我国在自动化技术及装备的研究开发水平和创新能力。