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美国普林斯顿大学博士王健访问固体所
  文章来源:合肥物质科学研究院 发布时间:2013-03-12 【字号: 小  中  大   

3月7日,应所长蔡伟平邀请,普林斯顿大学王健博士访问中科院合肥物质科学研究院固体所,并作了题为“纳米压印技术及其应用”的学术报告,报告会由纳米材料与结构研究室主任李广海研究员主持。

纳米压印(Nanoimprint Lithography)自1995年发明以来,在纳米技术各领域被广泛应用,相对于传统紫外光刻和电子束光刻,纳米压印在分辨率、光刻成本、三维纳米光刻等方面有无与伦比的优势。报告中,王健博士介绍了纳米光学材料、纳米工艺、纳米镀膜和纳米压印技术的生产,并详细阐述了它们在先进半导体器件、光电子、显示器、数据存储介质、先进材料、微纳机械(MEMS/NEMS)、生物芯片、纳米流道等方面的应用。报告结束后,王健博士与纳米室师生就相关问题展开了深入的交流。

王健博士是纳米压印技术生产和应用方面的专家,是30多个美国和国际专利的主要发明人,他撰写了近100篇半导体光学和工艺、纳米器件方面的专业文章,多次任光电子器件国际会议和微光纳光微加工国际会议共同主席。

王健博士作报告

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